Лань
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Лань
Бренд Лань представлен в
Продавец ООО "НОВЫЙ КНИЖНЫЙ ЦЕНТР"
- ИНН: 7710422909
- ОГРН: 1027700282763
Комментарии на Скидосиках
Комментариев нет