logo
Лань

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Цена: 1482

logo_bookvoed
В наличии
С персональной скидкой цена будет еще ниже
https://ndc.book24.ru/pim/products/images/1d/b7/018ee534-a1a9-73ae-87c0-9450f3f31db7.jpg

Описание

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.

Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Лань

Бренд Лань представлен в
Буквоед

Продавец ООО "НОВЫЙ КНИЖНЫЙ ЦЕНТР"

  • ИНН: 7710422909
  • ОГРН: 1027700282763

Комментарии на Скидосиках

Комментариев нет