Доп.Мин.обр.РФ для студентов ВУЗов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Рассмотр. физич. процессы в полупроводниковых приборах и элементах интегральных микросхем, их основн. св-ва, характеристики и параметры, конструктивно-техноло