Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры.
Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.

Автор: Никифоров Игорь Кронидович
Издательство: Инфра-Инженерия, 2023 г.
ISBN: 978-5-9729-1230-8
Страниц: 416 (Офсет)
Масса: 618 г
Размеры: 216x152x25 мм