Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства
используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов.

Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" в рамках дисциплины "Термовакуумные процессы и оборудование". Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.

Автор: Ли Илларион Павлович, Петров Владимир Семенович, Бычков Сергей Павлович
Редактор: Ли Илларион Павлович, Панфилов Ю. В.
Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2022 г.
ISBN: 978-5-7038-5823-3
Страниц: 120 (Офсет)
Масса: 202 г
Размеры: 235x165x8 мм