Юрий Цветков: Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.

Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".

Автор: Цветков Юрий Борисович
Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2018 г.
ISBN: 978-5-7038-4864-7
Страниц: 124 (Офсет)
Масса: 206 г
Размеры: 235x165x7 мм