Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов.
Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».

Автор: Александрова Ольга Анатольевна, Мараева Евгения Владимировна, Лебедев Андрей Олегович
Издательство: Лань, 2023 г.
Серия: Радиоэлектроника и приборостроение
ISBN: 978-5-507-45479-2
Страниц: 172 (Офсет)
Масса: 355 г
Размеры: 240x170x13 мм